[实用新型]一种改进型硅芯铸锭炉用加热结构有效

专利信息
申请号: 202020249453.9 申请日: 2020-03-04
公开(公告)号: CN212335353U 公开(公告)日: 2021-01-12
发明(设计)人: 杨金海 申请(专利权)人: 浙江晶阳机电股份有限公司
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 代理人: 王家蕾
地址: 314000 浙江省嘉*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型提供了一种改进型硅芯铸锭炉用加热结构,顶板;顶部加热器,该顶部加热器平行设于顶板的下方,顶部加热器与顶板之间设有石墨电极;侧面加热器,该侧面加热器均匀分布于顶板四周的侧面,侧面加热器通过连接板与顶部加热器相连;底面加热器,设于侧面加热器的下方且与顶板平行设置。本实用新型结构合理、控温均匀,对比现有技术的加热方式,本实用新型采用六面加热,顶部加热+四周加热——底部加热,解决了温控难度大的问题,具备控温均匀、硅锭的铸锭效率提高的特点。
搜索关键词: 一种 改进型 铸锭 加热 结构
【主权项】:
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