[实用新型]电弧等离子体炬用引燃气体分配环有效

专利信息
申请号: 202020260456.2 申请日: 2020-03-05
公开(公告)号: CN212152433U 公开(公告)日: 2020-12-15
发明(设计)人: 杨卫正 申请(专利权)人: 杨卫正
主分类号: C23C16/27 分类号: C23C16/27;C23C16/503
代理公司: 天津企兴智财知识产权代理有限公司 12226 代理人: 陈雅洁
地址: 300000 *** 国省代码: 天津;12
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摘要: 实用新型的电弧等离子体炬用引燃气体分配环,具有上环体、中环体和下环体;所述上环体的上表面呈具有凹凸结构的异形面,能够与绝缘套的下端面匹配,所述下环体的下表面具有与其外部阳极匹配压紧的圆锥面;所述中环体上绕轴均匀开设有若干切向孔,所述切向孔将流经分配环环体之外的气流导入分配环环体之内流出。本实用新型独立于绝缘套并单独固定于绝缘套底部,能够为气体提供平稳的出气分配结构,形成长期稳定的旋转气流,提高了电弧和电压的稳定性,尤其适用于金刚石材料的沉积制备。
搜索关键词: 电弧 等离子体 引燃 气体 分配
【主权项】:
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