[实用新型]一种光学元件亚表面缺陷快速检测装置有效
| 申请号： | 202020265354.X | 申请日： | 2020-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN212059867U | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 周晓燕;刘红婕;黄进;王凤蕊;刘东;孙焕宇;王狮凌;杨李茗;黎维华 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心;浙江大学 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/95 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 彭剑 |
| 地址： | 621900 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光学元件亚表面缺陷快速检测装置，包括用于放置待测光学元件的样品台，用于对光学元件进行扫描的成像模块，用于控制样品台、监测成像模块并采集成像模块图像的控制系统，以及对采集图像进行拼接的图像处理系统；所述的成像模块包括散射成像模块、荧光成像模块以及共聚焦荧光成像模块。利用本实用新型，不仅可以得到光学元件全口径的散射图像、荧光图像以及光致发光亚表面缺陷图像；也可以获得缺陷的分布、位置、强度、大小、密度等信息；同时可对关键缺陷区域通过共聚焦模式进行定位及高分辨精检，获得关键缺陷的深度信息，从而为光学元件亚表面缺陷分布提供全面的三维分布特征信息。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 元件 表面 缺陷 快速 检测 装置 | ||
【主权项】：
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