[实用新型]一种等离子刻蚀机用全封闭式云母加热基座有效
| 申请号： | 202020270294.0 | 申请日： | 2020-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN211879329U | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 游利;贾坤良 | 申请（专利权）人： | 靖江先锋半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 靖江市靖泰专利事务所(普通合伙) 32219 | 代理人： | 陆平 |
| 地址： | 214500 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种等离子刻蚀机用全封闭式云母加热基座，包括加热基座主体、云母加热片、陶瓷隔热板以及耐高温隔热转接密封接头，所述的加热基座主体内设置有云母加热片以及陶瓷隔热板，所述的耐高温隔热转接密封接头设置在加热基座主体上。本发明全封闭式云母加热基座通过控制两片云母片内部的刻蚀成型的多区控温的加热丝产生热量的分布，并通过热量的传导使加热基座工作面均匀发热，从面实现对表面放置晶圆和聚酰亚胺静电卡盘加热的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 刻蚀 机用全 封闭式 云母 加热 基座 | ||
【主权项】：
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