[实用新型]一种三氯氢硅的制备系统有效
申请号: | 202020271743.3 | 申请日: | 2020-03-06 |
公开(公告)号: | CN211813460U | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 武珠峰;刘兴平;银波;范协诚;宋高杰;郑宝刚 | 申请(专利权)人: | 新特能源股份有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107;B01J19/00 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 罗建民;邓伯英 |
地址: | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | 本实用新型公开一种三氯氢硅的制备系统,包括炉体,所述炉体包括反应段,所述反应段从下到上包括依次连通的三段,分别为主反应段(1)、副反应段(2)和缓冲段(3),其中,所述主反应段用于进行生成三氯氢硅的主反应,所述副反应段用于进行三氯氢硅的副反应,所述缓冲段用于发生三氯氢硅与氯化氢气体生成四氯化硅的反应,所述制备系统还包括降温机构,所述降温机构包括第一夹套(4),所述第一夹套包覆在所述主反应段之外,所述第一夹套内部流通有冷却液。所述制备系统能够减少四氯化硅的生成量,并提高三氯氢硅的收率。 | ||
搜索关键词: | 一种 三氯氢硅 制备 系统 | ||
【主权项】:
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