[实用新型]一种可根据直径大小收集的晶圆颗粒加工用筛选装置有效
申请号: | 202020272100.0 | 申请日: | 2020-03-06 |
公开(公告)号: | CN212468731U | 公开(公告)日: | 2021-02-05 |
发明(设计)人: | 苏玫树 | 申请(专利权)人: | 深圳市固得沃克电子有限公司 |
主分类号: | B07B1/04 | 分类号: | B07B1/04;B07B1/46;B07B13/04;B07B15/00;B07B13/16;B07B13/14;H01L21/67 |
代理公司: | 深圳市汇信知识产权代理有限公司 44477 | 代理人: | 赵英杰 |
地址: | 518000 广东省深圳市福*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种可根据直径大小收集的晶圆颗粒加工用筛选装置,本实用新型涉及机械加工技术领域,所述的箱体上贯穿连接有进料口;所述的箱体前侧开设有出口;数个定位滚轴的前后两端分别通过轴承与箱体的前后两侧壁旋接;所述的挡板的下端固定在箱体的底板上,挡板的上端抵设在定位滚轴的下端;相邻两个挡板之间从左至右分别设有一号筛选机构、二号筛选机构、三号筛选机构;所述的一号筛选机构包含一号滚轴、一号导板;能够连续不断地根据直径大小收集的晶圆颗粒,提高了工作效率;将筛选时落到其它直径分级的收集装置内的晶圆颗粒筛除重新收集,减少了误差。 | ||
搜索关键词: | 一种 根据 直径 大小 收集 颗粒 工用 筛选 装置 | ||
【主权项】:
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