[实用新型]一种半导体生产单晶炉有效
| 申请号： | 202020274688.3 | 申请日： | 2020-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN211814712U | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 梁尚红 | 申请（专利权）人： | 无锡同茂电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 南京禾易知识产权代理有限公司 32320 | 代理人： | 师自春 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市锡山*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体生产单晶炉，涉及单晶炉技术领域，为解决现有的单晶炉保温性能不够完善，使用起来不够方便的问题。所述单晶炉壳体的下方安装有安装架，所述单晶炉壳体下端的一侧设置有排气口，所述排气口的前端安装有调节阀，所述单晶炉壳体下端的中间位置处安装有电机，所述单晶炉壳体前端的上端安装有可视玻璃窗，所述单晶炉壳体的上端安装有法兰密封下连接盖，所述法兰密封下连接盖的上端安装有法兰密封上连接盖，所述法兰密封上连接盖上方的一侧设置有真空抽气口。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 生产 单晶炉 | ||
【主权项】：
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