[实用新型]提高半导体器件测试过程安全性的装置有效
| 申请号： | 202020280988.2 | 申请日： | 2020-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN212159990U | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 孙元鹏;张文亮 | 申请（专利权）人： | 山东阅芯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 韩凤 |
| 地址： | 264315 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种提高半导体器件测试过程安全性的装置，其包括设备主体、样品放置抽屉以及抽屉运动驱动机构；内挡板通过挡板连接机构与前挡板适配连接；在前挡板的内侧面设置能与内挡板适配连接的内挡板微动检测机构，所述内挡板微动检测机构与抽屉运动驱动机构电连接；在抽屉运动驱动机构驱动样品放置抽屉进入设备主体过程中，通过内挡板微动检测机构检测到内挡板向靠近前挡板方向活动时，内挡板微动检测机构能向柜体运动驱机构传输内挡板微动信息，抽屉运动驱动机构根据所接收的内挡板微动信息能立即停止驱动样品放置抽屉进入设备主体内。本实用新型结构紧凑，能有效确保测试过程的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 提高 半导体器件 测试 过程 安全性 装置 | ||
【主权项】：
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