[实用新型]一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备有效
| 申请号： | 202020282266.0 | 申请日： | 2020-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN211965226U | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 王忠 | 申请（专利权）人： | 上海灏谷集成电路技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B1/00;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海汇齐专利代理事务所(普通合伙) 31364 | 代理人： | 朱明福 |
| 地址： | 200000 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备，包括承物台，所述承物台下方设有支腿，所述承物台上方设有柜体，所述柜体顶部设有贯穿柜体内壁的第一安装槽，所述第一安装槽内设有第一电机，所述第一电机输出轴末端穿出第一安装槽并固定连接有主杆，所述主杆上滑动套接有中空圆环，所述中空圆环外套接有顶盖，所述顶盖底部设有周向排列的一圈固定块，所述中空圆环上设有固定中空圆环的锁销，所述主杆下端固定连接有底板。本实用新型能自动的将金属碎屑从芯片上的元件缝隙内清除，避免工人与芯片直接接触而损坏芯片，也能自动清理从芯片上掉落的金属碎屑，降低了工人的工作量，提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 集成电路 芯片 自动化 清洁 设备 | ||
【主权项】：
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