[实用新型]一种防碎真空吸笔头有效

专利信息
申请号: 202020293941.X 申请日: 2020-03-11
公开(公告)号: CN211743116U 公开(公告)日: 2020-10-23
发明(设计)人: 张璐;秦浩;乔旭 申请(专利权)人: 西安派瑞功率半导体变流技术股份有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683
代理公司: 西安文盛专利代理有限公司 61100 代理人: 彭冬英
地址: 710077 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 实用新型涉及一种防碎真空吸笔头,包括吸笔头主体、真空吸孔、真空吸腔,吸笔头主体呈圆盘状,在吸笔头主体一侧设有真空吸腔,真空吸腔最外围设有一圈圆形外围凸起,在真空吸腔中心设有真空吸孔,真空吸孔与外围凸起间设有3~6个“C”型防碎凸起,所述防碎凸起低于外围凸起。本实用新型增加了防碎凸起结构,防碎凸起能有效限制芯片形变,对于厚度较小的芯片,减少因芯片受压过大引起形变超过极限导致碎裂的概率。而且在吸取芯片过程中,真空吸腔与芯片接触面积较大,保证有足够吸力来吸牢芯片;因此,本实用新型既能提高吸片速度,又能防止芯片碎裂,这样就提高了工艺效率。
搜索关键词: 一种 真空 笔头
【主权项】:
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