[实用新型]一种环形金刚石线线切割机切割锗晶片的取片装置

摘要

本实用新型公开了一种环形金刚石线线切割机切割锗晶片的取片装置，该装置包括减压阀、真空发生器、变径接头、带底座的固定板、真空吸盘和连接管路，减压阀的进气口接压缩空气储罐的压缩空气，减压阀的出气口与真空发生器的入口相连，真空发生器的出气口与室外连通，真空发生器的真空口通过连接管路连接到变径接头，变径接头的多个出口通过连接管路与固定在带底座的固定板上的多组真空吸盘连通，多组真空吸盘均匀吸附在待切割的锗晶棒端面上。本实用新型实现了环形金刚石线线切割机上使用夹具切取薄片时的柔性取片，锗晶片不易倒片或者跌落损坏，取片过程中吸力大小可调，确保了切片时设备和锗晶片的安全，提高了该类加工的可靠性。