[实用新型]一种飞秒激光双光子微加工装置有效
申请号: | 202020317654.8 | 申请日: | 2020-03-13 |
公开(公告)号: | CN211708363U | 公开(公告)日: | 2020-10-20 |
发明(设计)人: | 何子健;陶卫东;孟祥俊;陈显兵 | 申请(专利权)人: | 宁波大学;宁波格特威电机有限公司 |
主分类号: | B23K26/00 | 分类号: | B23K26/00;B23K26/046 |
代理公司: | 宁波诚源专利事务所有限公司 33102 | 代理人: | 徐雪波;王莹 |
地址: | 315211 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种飞秒激光双光子微加工装置,包括控制器;五维运动平台,与控制器通信连接;飞秒激光器,设置在五维运动平台上;光开关,设置在飞秒激光器的激光传播路径上,通过移动来阻断和打开激光传播;三维运动平台,与控制器通信连接;样品台,设置在三维运动平台,用于放置待加工的样品;激光反射镜,设置在飞秒激光器的激光传播路径上,用于改变激光的传播方向而将激光反射至样品上;聚焦透镜,设置在样品台上用于放置样品的位置上方,用于聚焦激光;摄像头,设置在聚焦透镜的上方。该飞秒激光双光子微加工装置能够控制飞秒激光器进行运动,减少反射镜片数量,降低光路调整的复杂度。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光 光子 加工 装置 | ||
【主权项】:
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