[实用新型]微波等离子体化学气相沉积装置

摘要

本实用新型为一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括微波源、环形器、功率计、三销钉匹配调节器、模式转换天线、短路活塞、石英窗口、沉积基台、矩形波导、圆波导、水负载和密闭反应腔体；微波源依次与环形器、功率计、三销钉匹配调节器、模式转换天线、矩形波导连接，环形器连接有水负载，矩形波导的末端设置有短路活塞，模式转换天线位于沉积基台的正上方，密闭反应腔体的顶部设置有石英窗口，矩形波导通过模式转换天线下接圆波导再经石英窗口投射入密闭反应腔体中，密闭反应腔体的内部设置有沉积基台，沉积基台上设置有等离子体球。本发明能够利用TM02模式产生较大面积等离子体区域用于沉积金刚石膜，装置结构更加简单，成本更低。