[实用新型]一种新型滚筒式等离子去胶装置有效
| 申请号： | 202020322540.2 | 申请日： | 2020-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN211555828U | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 邹亦鸣;黄强;常俊;鞠任银 | 申请（专利权）人： | 江阴新顺微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/32;H01J37/305;G03F7/42 |
| 代理公司： | 江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙) 32380 | 代理人： | 孙燕波 |
| 地址： | 214400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种新型滚筒式等离子去胶装置，属于集成电路或分立器件芯片制造技术领域。包括微波反应装置和滚筒式石英腔，所述微波反应装置包括微波发生器、微波匹配器和等离子石英腔，所述等离子石英腔进气口连接气体分流管，所述等离子石英腔出气口与喷气管一端连接，所述等离子石英腔外表面套有微波环，所述微波环通过微波匹配器与微波发生器连接，所述等离子石英腔上设有紫外线灯；所述喷气管另一端与滚筒式石英腔进气口连接，所述滚筒式石英腔内设置圆片。所述滚筒式石英腔内侧壁上设有热电偶，所述滚筒式石英腔外表面设有加热灯。本申请避免了气体等离子化时与圆片接触，避免了对圆片表面的损伤，提高了产品的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 滚筒 等离子 装置 | ||
【主权项】：
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