[实用新型]涂布装置静电监控系统有效
| 申请号： | 202020337634.7 | 申请日： | 2020-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN211865687U | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 郭维兵;翟云华;沙双庆;赵辉;金杨林;庄恩泽 | 申请（专利权）人： | 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/00 | 分类号： | B05C11/00;G01R29/24;H05F3/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210033 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种涂布装置静电监控系统，包括采集涂布装置在涂布前、涂布中以及涂布后三个阶段的基板静电数据的静电监控传感器组；以及接收所述基板静电数据并根据所述基板静电数据对基板进行除静电操作的除静电装置。本实用新型不仅能够真实反映出基板在涂布各个动作时静电状况，同时针对高发静电时刻进行及时的除静电补偿对策，防止批量不良发生。对于飘高原因进行调查，同时除静电装置的能力也可以做到监控，真正起到准确判定异常原因、及时有效采取对策、日常监控防患的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 静电 监控 系统 | ||
【主权项】：
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