[实用新型]具有抽气延伸装置之PVD镀膜设备有效
| 申请号： | 202020338613.7 | 申请日： | 2020-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN214458282U | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 高瑞三 | 申请（专利权）人： | 众鼎瑞展电子科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518104 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本创作为一种具有抽气延伸装置之PVD镀膜设备，其包括有呈长形的镀膜模块，其包括有信道、连通信道的镀膜腔室、连通信道的两抽气腔室、装设于镀膜腔室内的给气装置，以及相对的两端，镀膜腔室介于两抽气腔室之间，各抽气腔室包括有腔室、贯穿腔室的抽气孔及罩盖抽气孔的抽气延伸装置，抽气延伸装置包括有连通腔室内的开口及连通开口及抽气孔的容置空间，其中一抽气腔室之抽气延伸装置的开口邻近且朝向镀膜模块的一端，另一抽气腔室之抽气延伸装置的开口邻近且朝向镀膜模块的另一端；本创作的两抽气腔室设有分别罩盖抽气孔的抽气延伸装置，避免载具承载欲镀膜的基材在镀膜模块的信道移动时遮挡住抽气孔，使信道的流场分布均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 延伸 装置 pvd 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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