[实用新型]一种无上电极水平电镀装置有效
| 申请号： | 202020349607.1 | 申请日： | 2020-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN212077175U | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 邓晓帆;李中天;姚宇 | 申请（专利权）人： | 苏州太阳井新能源有限公司 |
| 主分类号： | C25D7/12 | 分类号： | C25D7/12;C25D5/02;C25D17/00;C25D17/02;C25D17/12;H01L31/18;C25D3/38 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215127 江苏省苏州市吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种无上电极水平电镀装置，包括若干个等高设置的电解质溶液槽，待电镀基片位于电解质溶液槽上面与且下表面与电解质溶液接触，待电镀基片下表面分为待电镀区域及非电镀区域，待电镀区域表面为导电材料，非电镀区域表面为不导电材料，待电镀基片下表面电相连有水平传输装置和阴极导电装置，水平传输装置和阴极导电装置与电解质溶液槽间隔设置，水平传输装置带动待电镀基片水平运动，电解质溶液内设置有金属阳极，阴极导电装置与金属阳极分别与外置偏压电源的负极和正极相连。本实用新型提供的一种无上电极水平电镀装置，能够能够在待电镀基片表面形成均匀性好、可靠性高的金属沉积且不易造成待电镀基片或其表面损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 无上 电极 水平 电镀 装置 | ||
【主权项】：
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