[实用新型]一种氮化镓生长加热炉有效
| 申请号： | 202020361644.4 | 申请日： | 2020-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN211872146U | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 石恒业;邵永亮;张保国;胡海啸;李仕蛟 | 申请（专利权）人： | 山东科恒晶体材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B25/00 |
| 代理公司： | 北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙) 11641 | 代理人： | 左海明 |
| 地址： | 255100 山东省淄博市淄*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种氮化镓生长加热炉，属于氮化镓生产设备技术领域。氮化镓生长加热炉包括炉体和支撑座，炉体设置于支撑座上，炉体的两侧分别为进气端和生长杆插入端，进气端设有进气法兰密封，生长杆插入端设有封口法兰，封口法兰的中部固定有生长杆，所述炉体的最内层为石英炉胆，所述石英炉胆的外侧为加热装置和保温隔热层；支撑座包括底板和两端的侧板，所述侧板的底部固定在底板上，所述侧板上开有穿孔，所述石英炉胆的两端分别穿过两端的侧板的穿孔并通过法兰固定。本实用新型专利设计的生长加热炉用于氮化镓的工业生产，炉体内提供高温加热环境，由进气端通入反应气，在生长杆上长出氮化镓，生长稳定，生产效率可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 生长 加热炉 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东科恒晶体材料科技有限公司，未经山东科恒晶体材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202020361644.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种氮化镓生产用生长杆输送装置
- 下一篇：一种硅胶生产用原料粉碎装置
