[实用新型]一种晶圆生产集质检与修复一体的光刻胶涂敷检测装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆生产集质检与修复一体的光刻胶涂敷检测装置，其结构包括套筒、机座、检测台、检测探头、涂料器、升降架、导轨柱、传动带，本实用新型将晶圆放置在检测台表面置物板上，外围线的安装架上设有第一探头与第二探头及第三探头，组合位置传感模块安装在内下框处，对应晶圆侧面定位点安装，能够检测晶圆侧壁表面是否有缺陷，晶圆表面带有缺陷时可通过涂料器进行补胶，推杆在升降架机械压接作用力下直线带动活塞块上下运动产生气压，上移时打开出料口，使得相贯通储料盒的下料管输出胶料到注料筒中，胶料混合气体经由喷头送到晶圆表面上，具有补胶功能，能够有效提高后续涂胶作业的加工效率。