[实用新型]一种氮化硅烧结炉有效
申请号: | 202020390541.0 | 申请日: | 2020-03-25 |
公开(公告)号: | CN211782680U | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
发明(设计)人: | 莫修乾;李学臣;康春芳 | 申请(专利权)人: | 江苏东方瑞吉能源装备有限公司 |
主分类号: | F27B5/04 | 分类号: | F27B5/04;F27B5/16;F27D1/18;F27D3/02 |
代理公司: | 南京创略知识产权代理事务所(普通合伙) 32358 | 代理人: | 孙薇 |
地址: | 212100 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种氮化硅烧结炉,包括炉体,炉体的底部左右两侧安装有支撑脚,炉体的左侧安装有炉盖,炉体与炉盖之间通过齿啮式卡箍连接,炉盖与炉体的连接处安装设置有第一密封圈和第二密封圈,炉体的顶部安装设置有多个抽真空装置和多个电极口,炉体的底部安装设置有进气口,炉体的侧壁安装有放空口,炉体与外部管道联通的管口设置有过滤装置,炉体的内腔安装设置有承载小车。本实用新型解决了目前的烧结装置,不够安全简便,烧结效率较低的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 氮化 烧结炉 | ||
【主权项】:
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