[实用新型]一种薄膜器件有效
| 申请号： | 202020392034.0 | 申请日： | 2020-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN212770483U | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 四川猛犸半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/36 | 分类号： | C03C17/36;C03C27/12;B32B17/10 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 方惠春 |
| 地址： | 644000 四川省宜宾市临港经开*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种薄膜器件，包括依次向上层叠的基板、膜层组件、顶层电介质膜层和保护膜层，膜层组件包括沿基板向上依次层叠的电介质膜层、银膜层和牺牲膜层，或电介质膜层、牺牲膜层和银膜层，膜层组件还包括锌锡氧化物膜层和AgTi膜层，锌锡氧化物膜层和AgTi膜层层叠在牺牲膜层上面；或锌锡氧化物膜层和AgTi膜层层叠在银膜层与电介质膜层之间；或锌锡氧化物膜层和AgTi膜层层叠在牺牲膜层上面，同时锌锡氧化物膜层和/或AgTi膜层还层叠在银膜层与电介质膜层之间。本实用新型可以提高膜系在高温热处理的稳定性，又可提高该薄膜器件的化学稳定性和改善其机械性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 器件 | ||
【主权项】：
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