[实用新型]一种循环往复式硅片清洗装置有效
| 申请号： | 202020393215.5 | 申请日： | 2020-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN212041708U | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 徐爱阳 | 申请（专利权）人： | 扬州荣兴达光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 南京德铭知识产权代理事务所(普通合伙) 32362 | 代理人： | 奚鎏 |
| 地址： | 225200 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及硅片生产领域的一种循环往复式硅片清洗装置，包括上部框架，上部框架固定在龙门架的下方，上部框架与地面之间平行设置，上部框架的下面配合设置有往复喷淋机构，往复喷淋机构与上部框架之间通过滑动连接组件连接；往复喷淋机构通过滑动连接组件在上部框架上进行前后移动；往复喷淋机构的中心部位设置有喷淋部，喷淋部处呈镂空形状设置，往复喷淋机构上还配合设置有水管组件，水管组件分别设置有若干组；本实用新型能够高效的来回往复移动，实现对硅片360°无死角的批量化清洗，提高工作效率，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 循环往复 硅片 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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