[实用新型]一种搬舟碰撞检测装置有效
| 申请号： | 202020398079.9 | 申请日： | 2020-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN212254524U | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 林佳继;庞爱锁;朱太荣;刘群;张武 | 申请（专利权）人： | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 |
| 主分类号： | G01M7/08 | 分类号： | G01M7/08 |
| 代理公司： | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人： | 董世博 |
| 地址： | 518118 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种搬舟碰撞检测装置,包括搬舟手臂、固定装置和搬舟碰撞机构，所述搬舟碰撞机构包括舟检测机构、舟碰撞机构和搬舟手臂防撞机构，所述舟检测机构包括防撞板和搬舟防撞顶板，所述搬舟防撞顶板上设置有舟放置机构，所述舟安放在舟放置机构上，所述舟碰撞机构、搬舟手臂防撞机构和所述固定装置设置于防撞板上，所述搬舟手臂和搬舟碰撞机构通过固定装置固设连接。本实用新型操作方便，适用性广，适用于扩散、退火、PECVD、LPCVD等设备，也可用于设备缓存位上的检测，且运用简单的结构，实现了舟检测、搬舟手臂碰撞检测及舟碰撞检测，提高了设备的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碰撞 检测 装置 | ||
【主权项】：
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