[实用新型]热处理设备有效
| 申请号： | 202020406996.7 | 申请日： | 2020-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN211953589U | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 罗搏飞;吴勇茂 | 申请（专利权）人： | 常州捷佳创智能装备有限公司 |
| 主分类号： | F26B15/12 | 分类号： | F26B15/12;F26B21/00;F26B25/00;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343 | 代理人： | 汪海屏;王淑梅 |
| 地址： | 213133 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种热处理设备，包括：炉体，炉体具有腔体，腔体具有进风口与出风口；第一均风结构，第一均风结构对应进风口设置，位于腔体内，第一均风结构被配置为适于对通过进入的气流进行分流；第二均风结构，设于腔体，与第一均风结构相对，第二均风结构对应出风口设置，位于腔体内，第二均风结构被配置为适于对通过的气流进行分流；送风机构，送风机构的送风口与进风口相连通。本实用新型提出的热处理设备，气流通过第一均风结构的分流，形成面式的气场，气流进入腔体，再由第二均风结构经出风口流出，由于第二均风结构也是面式的流经气流，可以缩短废气的排出时间，防止腔体内的废气紊乱，在腔体内污染腔体、网链甚至硅片。 | ||
| 搜索关键词： | 热处理 设备 | ||
【主权项】：
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