[实用新型]一种晶圆盒定位工装及晶圆盒固定承载台有效
| 申请号： | 202020416742.3 | 申请日： | 2020-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN212245198U | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 唐超;林坚;卢伟 | 申请（专利权）人： | 泓浒（昆山）半导体光电有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/74 | 分类号： | B65G47/74 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆盒定位工装及晶圆盒固定承载台，属于晶圆生产技术领域。该晶圆盒定位工装，包括工装主体和限位组件，其中，工装主体上开设有用于放置晶圆盒的嵌入凹槽，嵌入凹槽的槽壁上预设有卡槽，卡槽包括至少两个固定挡边，每个固定挡边分别用于相应规格晶圆盒的限位；限位组件设置在工装主体上，限位组件包括可调挡块，可调挡块伸出时能与相应固定挡边配合用于晶圆盒的定位。晶圆盒固定承载台包括上述晶圆盒定位工装。本实用新型的晶圆盒定位工装及晶圆盒固定承载台，通过卡槽实现晶圆盒的限位；卡槽包括至少两个固定挡边以分别用于相应规格晶圆盒的限位，能适用于多种规格晶圆盒，降低生产成本并提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆盒 定位 工装 固定 承载 | ||
【主权项】：
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