[实用新型]单晶炉热屏移动车有效
申请号: | 202020423944.0 | 申请日: | 2020-03-27 |
公开(公告)号: | CN212077195U | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | 闫龙;魏兴彤 | 申请(专利权)人: | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14 |
代理公司: | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人: | 孙彦虎 |
地址: | 750021 宁夏回*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 一种单晶炉热屏移动车,涉及热屏辅助设备技术领域,以移动热屏,包括由上至下依次固定连接的放置板、支撑部、移动轮,放置板水平设置,且开设有放置孔,放置孔的直径大于热屏底部的直径、小于热屏顶部的直径,以使热屏由上至下插入放置孔内,进而使热屏的顶部与放置板搭接固定;支撑部将放置板抬高,以使热屏的底部远离地面且悬空。热屏放置在本装置上后使得热屏底部悬空,并与地面保持一定距离,防止本装置在移动过程中不会与热屏底部发生撞击,也不会因此减少热屏的使用寿命;支撑部的高度除了保证热屏悬空外,还将热屏底部与地面之间预留25mm的距离,保证在操作人员忘记取下石英针的情况下,不会使石英针撞击到地面,保护石英针。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉热屏 移动 | ||
【主权项】:
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