[实用新型]一种管式流体控温的化学机械抛光盘有效
| 申请号： | 202020430992.2 | 申请日： | 2020-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN211805516U | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 王家雄 | 申请（专利权）人： | 昂士特科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/16 | 分类号： | B24B37/16;B24B51/00;B24B55/02 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人： | 谭雪婷;梁炎芳 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区桃源*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种管式流体控温的化学机械抛光盘，抛光盘包括面板和底盘，底盘上表面开设有与盘旋管适配的凹槽，盘旋管嵌设在凹槽内，面板设置在底盘上且与盘旋管紧密抵接；底盘的下表面中部设置有连接座，连接座内开设有两端具有开口的连接腔，底盘设置在旋转轴上，旋转轴内开设有两端具有开口的流体通道，连接腔两端分别与流体通道和盘旋管的出口端连通；旋转轴通过防水轴承转动设置在圆筒底座上，第二进液管的一端穿设在旋转轴内；第一进液管位于连接腔内，第一进液管的一端连接盘旋管位于抛光盘中央的入口，另一端通过快速接口与第二进液管连接；圆筒底座上开设有与流体通道连通的流体出口。本实用新型技术方案旨在实现按照抛光要求被加热或冷却抛光盘。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 流体 化学 机械抛光 | ||
【主权项】：
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