[实用新型]一种十字梁结构石墨烯高温压力传感器有效
| 申请号： | 202020437648.6 | 申请日： | 2020-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN211877292U | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 王俊强;李孟委;朱泽华 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 北京惠智天成知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11681 | 代理人： | 刘莹莹 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 一种十字梁结构石墨烯高温压力传感器，可长期稳定工作在900℃和20MPa的高温高压环境下，传感器包括：封装外壳，设置在封装外壳顶部的上端盖以及设置在封装外壳内部底端的陶瓷基座；上端盖上设置有一个圆通孔；陶瓷基座中部开设有安装槽；还包括，检测基片，检测基片设置在陶瓷基座的安装槽内，检测基片中心开设有方形孔，方形孔上设置有十字梁，十字梁与检测基片的连接处均设置有纳米检测单元；传压硅膜，传压硅膜设置在检测基片上，传压硅膜上表面的边缘与上端盖底部连接，传压硅膜底部中心设置有突出的硅膜凸柱与十字梁中心连接，实现力的传递；互连组件，互连组件一端与纳米检测单元连接，互连组件另一端与外部连接从而将压力信号传递出来。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 十字 结构 石墨 高温 压力传感器 | ||
【主权项】：
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