[实用新型]基于铌酸锂薄膜的空气隙型剪切波谐振器有效
| 申请号： | 202020457212.3 | 申请日： | 2020-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN212163295U | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 李国强 | 申请（专利权）人： | 河源市众拓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H3/02;H01L41/187 |
| 代理公司： | 广州凯东知识产权代理有限公司 44259 | 代理人： | 李勤辉 |
| 地址： | 517000 广东省河源市高新技术开*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了基于铌酸锂薄膜的空气隙型剪切波谐振器，通过对电极形状、电极尺寸、压电材料取材、厚度等方面的优化设计，减小了横波寄生模式的影响，使得谐振器仅工作在剪切波模式下，提高了谐振器的品质因数；在双抛高阻硅片的一个表面先后沉积保护层、牺牲层材料，再将衬底化学机械抛光；通过离子注入与晶圆键合的方法，将铌酸锂薄膜转移到该抛光的衬底上面，然后利用剥离工艺在铌酸锂薄膜表面溅射金属叉指电极；最后利用干法刻蚀或者湿法腐蚀的办法去掉牺牲层；随后将这一面保护起来，在另一面重复之前的生长，除去保护层后获得成品器件；进而提高了谐振器的机械强度与可靠性，可适用于谐振器的大规模制造。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 铌酸锂 薄膜 空气 剪切 谐振器 | ||
【主权项】：
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