[实用新型]一种基于前端VF调压方式稳定输出的CVD高压电源

摘要

本实用新型公开一种基于前端VF调压方式稳定输出的CVD高压电源，包括通入的三相交流电和输出的微波管高压，在所述三相交流电与输出的微波管高压电路之间添设有VF变频调节环节，所述VF变频调节环节输出端与高压升压环节电性连接；本实用新型结构设计合理，本方案通过在CVD高压电源的前端增加VF环节，通过对磁控管两端的实际电压监测，不断的根据具体的情况，实时的调整高压电源的输入，从而达到稳定高压输出的目的，这种方式可以降低由于市电电压不稳定造成的影响，也可以解决磁控管不同的工况下，由于工作电流大小的不同，电源内阻的存在，实际加在磁控管两端的电压会不断变化的问题；从而提高磁控管两端高压的稳定性，保证合成的质量。