[实用新型]一种基于HEMT气体传感器的气体检测装置有效
| 申请号： | 202020461884.1 | 申请日： | 2020-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN211785287U | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 孙海定;邢宠;许磊;张昊宸;宋康;杨磊;谢东成;刘睿晨;薛峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;H01L29/778 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周天宇 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种基于HEMT气体传感器的气体检测装置。所述装置包括：依次连接的待测气体罐、气体检测腔室、尾气处理腔室；以及与气体检测腔室连接的测量电路；其中，所述气体检测腔室包括AlGaN/GaN基HEMT气体传感器，以及设置于所述气体传感器上方的紫外光束发射器件。通过紫外光束照射AlGaN/GaN基HEMT气体传感器来提高气体传感器的灵敏度，同时也能降低气体传感器的测量阈值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 hemt 气体 传感器 检测 装置 | ||
【主权项】：
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