[实用新型]一种真空机械手的磁流体密封传动装置有效
申请号: | 202020485059.5 | 申请日: | 2020-04-07 |
公开(公告)号: | CN212080168U | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | 雷世友;张松华 | 申请(专利权)人: | 杭州铂利雅精密机械有限公司 |
主分类号: | F16J15/43 | 分类号: | F16J15/43 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 奚丽萍 |
地址: | 311106 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型提供一种真空机械手的磁流体密封传动装置,包括安装座、传动轴、内侧传动轴、第一磁流体密封机构和第二磁流体密封机构,所述传动轴与所述安装座之间设有第一磁流体密封机构,所述传动轴与内侧传动轴之间设置有第二磁流体密封机构,内侧传动轴的轴向两端设置有末端连接机构,所述传动轴两侧分别设置有传动齿轮。传动轴一端通过传动齿轮真空机械手的第一从动轴连接,另一端与外部第一驱动轴连接;内侧传动轴一端通过末端连接机构与真空机械手的第二从动轴连接,另一端通过末端连接机构与外部的第二驱动轴连接,传动轴和内侧传动轴分别传递不同的驱动力,避免在真空机械手的真空腔内安装多个磁流体密封传动装置,整体结构紧凑。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空 机械手 流体 密封 传动 装置 | ||
【主权项】:
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