[实用新型]一种基于合成孔径聚焦成像的激光超声检测装置有效
申请号: | 202020498011.8 | 申请日: | 2020-04-07 |
公开(公告)号: | CN211696267U | 公开(公告)日: | 2020-10-16 |
发明(设计)人: | 何浩辉;袁金晶;何文;罗鑫洪;严俊韬 | 申请(专利权)人: | 广东电网有限责任公司;广东电网有限责任公司东莞供电局 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24;G01B9/02 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 张建 |
地址: | 510060 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型实施例公开了一种基于合成孔径聚焦成像的激光超声检测装置,包括脉冲激光器、三维振镜、扫描透镜、干涉仪、激光位移传感器、三维平移台和工控机;所述三维平移台用于放置样品,所述三维振镜、所述干涉仪、所述激光位移传感器设置于所述三维平移台的正上方,所述扫描透镜设置于所述三维振镜正对所述三维平移台的一端,所述工控机与所述脉冲激光器、所述三维平移台均连接,所述脉冲激光器与所述三维振镜连接。本实用新型实施例提供的装置和方法可以对任意表面形状的样品进行内部缺陷的SAFT成像。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 合成 孔径 聚焦 成像 激光 超声 检测 装置 | ||
【主权项】:
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