[实用新型]一种微波等离子体化学气相沉积设备

摘要

本实用新型涉及微波等离子体化学气相沉积领域，一种微波等离子体化学气相沉积设备，包括微波源、波导、模式转换器、谐振腔，所述的模式转换器中的微波天线包含芯体和表层，还包括气体系统，用于将气体导入、导出谐振腔，还包括基板保持部件，通过改善微波等离子体化学气相沉积设备设计，改良微波天线的设计，可以有效提升微波等离子体化学气相沉积设备的长期使用的稳定性，减少了在生产过程中的不稳定性，有利于提高产品质量。特别是对于在生产过程中对于温度稳定性要求高的产品，如金刚石，该设备能有效提高产品的品质，提升其经济价值。