[实用新型]一种降低导通电阻和增加安全工作区的功率半导体器件结构有效
申请号: | 202020505108.7 | 申请日: | 2020-04-09 |
公开(公告)号: | CN211629116U | 公开(公告)日: | 2020-10-02 |
发明(设计)人: | 弓小武;张弦;田鸿昌;何晓宁;陈晓炜 | 申请(专利权)人: | 陕西半导体先导技术中心有限公司 |
主分类号: | H01L29/739 | 分类号: | H01L29/739;H01L29/78;H01L29/06;H01L29/10 |
代理公司: | 西安乾方知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 61259 | 代理人: | 胡思棉 |
地址: | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 一种降低导通电阻和增加安全工作区的功率半导体器件结构,包括N漂移区,在N漂移区内设置的P‑body区,在P‑body区内的表面设置有P+接触层,在P‑body区内P+接触层外围设置有N+源区,其特征在于在P+接触层下方的P‑body区内设置有收集杂散电流的P+埋层;在P‑body区外围的N漂移区表面设置有N+掺杂区;P+埋层的浓度要求比所在区域的P‑body掺杂浓度要高1‑5个量级;N+掺杂区的浓度应低于P‑body区的浓度,且高于N漂移区的浓度。其优点在于可降低导通电阻,增加器件工作安全区。 | ||
搜索关键词: | 一种 降低 通电 增加 安全 工作 功率 半导体器件 结构 | ||
【主权项】:
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