[实用新型]具有沟槽结构的半导体器件有效

专利信息
申请号: 202020513822.0 申请日: 2020-04-09
公开(公告)号: CN212113729U 公开(公告)日: 2020-12-08
发明(设计)人: 郑亚良;李浩南;陈伟钿;周永昌;张永杰;孙倩;黎沛涛 申请(专利权)人: 创能动力科技有限公司
主分类号: H01L29/78 分类号: H01L29/78;H01L29/423
代理公司: 深圳市六加知识产权代理有限公司 44372 代理人: 王媛
地址: 中国香港新界大埔白石角*** 国省代码: 香港;81
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摘要: 实用新型公开具有沟槽结构的半导体器件。半导体器件包括:基底;漂移层;阱区;设置在阱区上的第一接触区和第二接触区;沟槽,沟槽的侧壁与第一接触区和阱区接触;第一掩埋区和第二掩埋区,设置在沟槽的底壁的下方并且与底壁接触;栅区,设置在沟槽中;第一源金属区,设置在沟槽中并且位于栅区下方;栅氧化区;第二源金属区,设置在第一接触区和第二接触区上方,并且与第一源金属区电连接;以及漏金属区。根据本实用新型的半导体器件具有更高的器件密度、更好的电流能力、和更小的开关损耗。
搜索关键词: 具有 沟槽 结构 半导体器件
【主权项】:
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