[实用新型]一种晶圆清洁设备有效
| 申请号： | 202020515571.X | 申请日： | 2020-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN212041850U | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 蔡丹纯;陈天虎;郑俊;李宇周 | 申请（专利权）人： | 东莞高伟光学电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 东莞市说文知识产权代理事务所(普通合伙) 44330 | 代理人： | 程修华 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶圆清洁设备，包括机架和安装在机架上方的晶圆传送装置、第一支撑定位装置、第二支撑定位装置、晶圆检测装置、晶圆清洁装置，所述晶圆清洁装置包括清洁支撑架、X轴移动模组、Y轴移动模组、移动板、升降气缸、棒安装块和粘尘棒，X轴移动模组驱动Y轴移动模组沿X轴左右移动，Y轴移动模组驱动移动板沿Y轴前后移动，移动板侧方安装升降气缸，升降气缸驱动棒安装块上下升降，棒安装块底部安装粘尘棒，与现有技术相比，晶圆清洁装置采用粘尘棒去除晶圆表面的灰尘异物，粘尘棒不会损伤污染晶圆，减少等离子水的使用和维护检修成本，不会出现等离子水污染批量晶圆的现象，提高产品良率，满足生产需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洁 设备 | ||
【主权项】：
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