[实用新型]一种高气密性治具腔体有效
| 申请号： | 202020531910.3 | 申请日： | 2020-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN211477513U | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 刘波 | 申请（专利权）人： | 无锡升滕半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/02 | 分类号： | G01M3/02 |
| 代理公司： | 无锡松禾知识产权代理事务所(普通合伙) 32316 | 代理人： | 蔡赵 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高气密性治具腔体，包括治具本体，所述治具内部设有检测腔；所述治具上设置有与被检测装置相连接的连接孔槽，以及与抽真空装置相连通的抽气孔；所述治具设置有封合端面，所述封合端面设置有与所述检测腔连通的封合孔，所述封合孔上覆设有封合板，所述封合板和所述封合端面间设置有密封垫圈；所述封合端面的一端设置有转动轴，所述封合板的一端设置有弧形内凹的转动槽；所述封合板的一端通过所述转动槽压抵在所述转动轴上，并朝所述封合端面转动，所述封合板的另一端通过螺栓与所述封合端面相紧固。本实用新型能够简化治具封合板的装拆步骤，且气密性能更佳。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气密性 治具腔体 | ||
【主权项】：
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