[实用新型]一种蒸发炉及双面镀膜装置有效
| 申请号： | 202020540212.X | 申请日： | 2020-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN211999890U | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 杭州纤纳光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/26 |
| 代理公司： | 杭州奥创知识产权代理有限公司 33272 | 代理人： | 杨文华 |
| 地址： | 311121 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种蒸发炉，包括炉体和蒸发坩埚，蒸发坩埚设置在炉体内，炉体的顶面密闭，在炉体内设有加热丝，在炉体的底面设有炉体开孔，在蒸发坩埚的底面也设有与炉体开孔同轴的坩埚通孔，坩埚通孔位于待蒸镀部件上方，在蒸发坩埚内设有盛装蒸镀材料的坩埚容腔，位于坩埚容腔内的蒸镀材料的蒸发气体通过坩埚通孔和炉体开孔后向下沉积到部件表面并蒸镀沉积成所需要的镀层。本实用新型还公开一种使用该蒸发炉的双面镀膜装置。本实用新型对现有的单面镀膜装置进行改造就可以实现双面镀膜，占用体积小，制造成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 双面 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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