[实用新型]一种制备双面太阳能电池的设备

摘要

本实用新型涉及一种制备双面太阳能电池的设备，包括多个蒸镀腔室和若干个切割腔室，在每个蒸镀腔室和切割腔室内分别设置传送装置，在每个蒸镀腔室的传送装置的上下方分别设置了给电池基片的上下两面同时沉积功能层的上方蒸镀源和下方蒸镀源，在每个切割腔室的传送装置的上下方分别设置了上切割器和下切割器；上方蒸镀源设有源炉体和上方坩埚，在源炉体的底面设有炉体开孔，在上方坩埚的底面设有坩埚通孔，位于坩埚容腔内的蒸镀功能层材料的蒸发气体通过坩埚通孔和炉体开孔后向下沉积到电池基片表面并蒸镀沉积成所需要的功能层。本实用新型满足在上下面同时沉积双面太阳能电池的需求，极大的缩短了双面电池制备的时间，节省了人力和物力。