[实用新型]一种太阳能电池硅片干燥或固化用烘箱

摘要

本实用新型公开了一种太阳能电池硅片干燥或固化用烘箱，包括箱体，箱体具有进板门阀一及出板门阀一，以及进气管道和出气管道；箱体内设置有升降承托机构以用于沿垂直方向平行并列设置多排用于载板承托的载板支架；对应每排载板支架的上下两侧均设置有加热板；还具有装载腔；装载腔具有进板门阀二及对应进板门阀一的出板门阀二；装载腔通过真空阀一连通至抽真空设备；箱体的出气管道通过真空阀二连通至装载腔。该实用新型通过多层硅片平躺式放置加热烘干，且双面同时加热可以确保硅片均匀加热而实现快速干燥；挥发的有机气体可以通过真空抽气和进气的方式均匀有效的抽出而不需要大量吹气，有效减少了吹气能耗，且具有高产能、占地少的优点。