[实用新型]一种新型干刻设备有效
| 申请号： | 202020556721.1 | 申请日： | 2020-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN211975533U | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 王金宝;陈飞;冷问竹 | 申请（专利权）人： | 信利（仁寿）高端显示科技有限公司 |
| 主分类号： | F04D29/70 | 分类号： | F04D29/70;F04D19/04 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 刘春风 |
| 地址： | 620500 四川省眉山*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型干刻设备，其包括压力控制器、第一排气通道、第二排气通道、分子泵、惰性无毒气体吹扫装置和排气装置，所述第一排气通道设于所述压力控制器的上方；所述第二排气通道设于所述压力控制器的下方；所述分子泵设于所述第二排气通道的下方且与所述第二排气通道导通；所述惰性无毒气体吹扫装置，其与所述第一排气通道导通；所述排气装置与所述第二排气通道或分子泵导通。通过惰性无毒气体吹扫装置对第一排气通道进行吹扫，惰性无毒气体经由第一排气通道、压力控制器、第二排气通道和分子泵，再通过排气装置排出，以使得有毒气体得以排出，排出气体后方可对压力控制器和分子泵进行更换，以避免有毒气体中毒的危险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 设备 | ||
【主权项】：
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