[实用新型]一种镀膜机用的低真空辅助抽气装置有效

专利信息
申请号: 202020560119.5 申请日: 2020-04-15
公开(公告)号: CN211999905U 公开(公告)日: 2020-11-24
发明(设计)人: 骆海伟 申请(专利权)人: 东莞市伟信真空服务有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 523820 广东省东莞*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种镀膜机用的低真空辅助抽气装置,包括:真空镀膜机、炉盖、两组真空抽气组件以及限位组件,所述真空镀膜机底端固定设置有基座,所述炉盖通过铰链活动安装在真空镀膜机一侧,且所述炉盖的端处通过锁扣与真空镀膜机连接,两组所述真空抽气组件匹配安装在真空镀膜机两侧壁,所述限位组件匹配安装在真空镀膜机两侧。本实用新型使用便捷,可快速的进行真空抽气处理,且整体真空效率高,通过在真空抽气管内壁贴合安装有加热板,利用加热板作用下,可稳定的将真空抽气管内壁进行局部的升温处理,保证了整体抽气的通过性,规避了真空抽气管内壁的温度过低与真空镀膜机内部的温度气体接触形成水雾的状况发生。
搜索关键词: 一种 镀膜 真空 辅助 装置
【主权项】:
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