[实用新型]一种太阳能硅片自动上料装置有效

专利信息
申请号: 202020578064.0 申请日: 2020-04-17
公开(公告)号: CN211404477U 公开(公告)日: 2020-09-01
发明(设计)人: 张银鹏;刘向荣;周易芳;彭云祥;李振华 申请(专利权)人: 宇泽(江西)半导体有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/677;H01L31/18
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 336000 江西省*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 实用新型公开了一种太阳能硅片自动上料装置,包括真空吸盘,所述真空吸盘右端固定连接有移动杆,所述移动杆内部中心通过打孔有真空腔,所述真空吸盘右侧一体成型有真空嘴,且真空嘴连通真空腔。本实用新型通过真空腔和真空嘴的设置,通过电动滑轨带动移动杆移动,使得真空吸盘贴合硅片,并通过外部真空泵连通真空接头,将真空腔内空气抽出形成负压,使得硅片吸附于真空吸盘上,便于硅片的稳定上料,较为实用,适合广泛推广与使用。
搜索关键词: 一种 太阳能 硅片 自动 装置
【主权项】:
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