[实用新型]一种用于超纯水隔离的氮封阀

摘要

本实用新型公开了一种用于超纯水隔离的氮封阀，包括纯水隔离机构和过滤机构；纯水隔离机构：其包括氮气罐，所述氮气罐上设有主气管，所述主气管上设有计量表，所述主气管远离氮气罐的一端设有过滤机构，所述过滤机构的另一侧设有副气管和循环气管，所述副气管和循环气管上均设有氮封阀，所述副气管的另一端连接有水箱，所述循环气管的另一端连接有增压气泵的出气口，所述增压气泵的进气口与水箱连接，所述水箱的上表面设有压力表；过滤机构：其包括过滤箱，该用于超纯水隔离的氮封阀，可以对水箱中的氮气进行循环利用，防止造成氮气的浪费，降低了成本，同时，可以对流通的氮气进行干燥，避免造成超纯水污染。