[实用新型]一种真空样品转移装置有效

专利信息
申请号: 202020587354.1 申请日: 2020-04-20
公开(公告)号: CN212083474U 公开(公告)日: 2020-12-04
发明(设计)人: 张政;陈栋;郭云飞;黄勇;衡潘 申请(专利权)人: 上海微纳国际贸易有限公司
主分类号: G01Q30/20 分类号: G01Q30/20;G01Q30/16
代理公司: 上海怡恩专利代理事务所(普通合伙) 31336 代理人: 牟俊玲
地址: 201100 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了一种真空样品转移装置,属于扫描电镜真空配件技术领域。它包括传样部分、球阀、对接部分和样品测试部分,所述传样部分包括旋转滑块、密封板、传样筒、样品夹台、样品托、移动抓取机构、传样杆、固定筒。本实用新型隔绝了待测样品与大气的接触,避免了样品受空气污染或侵蚀,使样品一直处于真空环境;避免了每次测样都需要打开电镜舱门,节省了重新抽真空的时间,使得电镜一直处于真空状态下;提高了电镜的使用寿命,同时扫描电镜出故障几率,节约昂贵的维修费用,提高仪器的使用率。
搜索关键词: 一种 真空 样品 转移 装置
【主权项】:
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