[实用新型]化学沉积气体导向板

摘要

本实用新型公开了一种化学沉积气体导向板，包括呈圆盘状结构的本体，所述本体上具有至少两个贯穿其上下两侧的导向孔，所述导向孔沿本体的周向均匀分布，从导向孔上端进入的气体，在所述导向孔的作用下，能够以向外扩散的流态从导向孔的下端溢出，并向本体的下方四周扩散。在不改变原有导气板上注入孔直径前提下，通过导向板上导向孔作用，以增加气体扩散面积，同时加快扩散速度，避免气体在中部聚集，大大提高注入化学气体沉积覆盖面积和沉积均匀度等，保证产品气相沉积效率和薄膜质量，最终改善产品良品率。