[实用新型]碳化硅晶体的生长装置有效
| 申请号： | 202020619456.7 | 申请日： | 2020-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN212834141U | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 徐良;杨新鹏;蓝文安;刘建哲;余雅俊;夏建白;李京波;郭炜;叶继春;占俊杰 | 申请（专利权）人： | 浙江博蓝特半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 佟林松 |
| 地址： | 321000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种碳化硅晶体的生长装置，该生长装置包括坩埚组件和籽晶固定器，所述坩埚组件包括坩埚体、石墨隔板和坩埚盖，所述石墨隔板设置在坩埚体上部，并且石墨隔板上具有通气孔结构，所述坩埚盖盖设在坩埚体上以构成坩埚内部容纳腔；所述籽晶固定器设置在坩埚盖内侧，且位于石墨隔板上方。通过石墨隔板对向上升华的气相物进行整流，降低生产成本的同时提升晶体的合格率及品质。 | ||
| 搜索关键词： | 碳化硅 晶体 生长 装置 | ||
【主权项】：
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