[实用新型]一种芯片封装散热结构有效
申请号: | 202020639167.3 | 申请日: | 2020-04-24 |
公开(公告)号: | CN211629078U | 公开(公告)日: | 2020-10-02 |
发明(设计)人: | 王刚;夏晨辉;李杨;王成迁;朱家昌;浦杰;王波 | 申请(专利权)人: | 中科芯集成电路有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L23/498;H01L23/367 |
代理公司: | 无锡派尔特知识产权代理事务所(普通合伙) 32340 | 代理人: | 杨立秋 |
地址: | 214000 江苏省无锡市滨湖区蠡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开一种芯片封装散热结构,属于集成电路封装技术领域。该封装散热结构包括硅衬底、散热槽、芯片槽、芯片、插入层和焊球。散热槽刻蚀在硅衬底正面,芯片槽刻蚀在硅衬底背面,并且散热槽和芯片槽相连通,散热槽中填充有电镀金属;芯片粘贴在芯片槽中,并且芯片背面与芯片槽底面平齐,正面与芯片槽的开口面平齐;插入层制作在硅衬底的底部,焊球制作在插入层的表面。本实用新型使用晶圆级封装工艺制造,通过在封装上制造散热槽并填充金属作为散热结构,使散热结构与芯片背面接触,形成直接散热通道,降低热阻,扩大散热面积,可以有效提高散热效率,提高芯片封装可靠性。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片 封装 散热 结构 | ||
【主权项】:
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