[实用新型]气墙隔离装置和原子层沉积系统

摘要

本实用新型公开一种气墙隔离装置和原子层沉积系统，其中，气墙隔离装置包括箱体，所述箱体内形成有送料通道，所述箱体开设有连通所述送料通道的进料口和出料口，所述进料口和所述出料口分别设于所述箱体的两侧；所述箱体还开设有连通所述送料通道的两第一进气口，两所述第一进气口分别设于所述箱体的顶部和底部；两进气组件，两所述进气组件分别设于所述箱体的上方和所述箱体的下方，且所述进气组件具有出气端，所述出气端与所述第一进气口连通，用于给所述送料通道内充入气体；加热组件，所述加热组件设于所述箱体的外表面，用于对所述箱体进行加热。本实用新型旨在隔离各反应腔之间的气体窜流，以提高原子层沉积反应的精确度。